Filtros de paso de banda para sistemas de inspección basados en láseres semiconductores

Los filtros de paso de banda para sistemas de inspección basados en láseres semiconductores están diseñados para transmitir longitudes de onda láser seleccionadas y reducir la luz no deseada fuera de banda y el ruido de fondo. En la inspección de obleas, la detección de defectos y la metrología óptica, estos filtros aíslan la señal láser específica dispersada o reflejada por la superficie del semiconductor, lo que permite identificar defectos y analizar la superficie con precisión sin interferencias de la iluminación ambiental ni de emisiones secundarias.

Aplicaciones:

• Sistemas de inspección de superficies de obleas que aíslan la luz láser dispersada para detectar partículas, arañazos y microdefectos

• Metrología óptica para medir dimensiones críticas (CD) y el espesor de películas delgadas mediante el filtrado de señales láser reflejadas

• Rechazo del ruido de fondo y de la fluorescencia en sistemas de inspección óptica automatizada (AOI) para garantizar que el sensor se enfoque en la longitud de onda láser principal