Filtros de paso de banda para inspección de obleas
Los filtros de paso de banda (BPFs) utilizados en la inspección de obleas son filtros altamente especializados y de banda muy estrecha, con una longitud de onda central (CWL) que coincide con precisión con las potentes fuentes de luz monocromática, normalmente láseres, empleadas por los equipos de inspección.
Los parámetros específicos (longitud de onda y FWHM) dependen por completo de la técnica de inspección, la capa de la oblea examinada y el tamaño de los defectos que se pretende detectar.
