晶圆检测
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晶圆检测中使用的带通滤光片 (BPF) 是高度专业化的超窄滤滤光片，其中心波长 (CWL)与检测工具所采用的强大单色光源（通常是激光器）精确匹配。
具体参数（波长和 FWHM）完全取决于检测技术、被检测的晶圆层以及目标缺陷的大小。
晶圆检测中使用的带通滤光片 (BPF) 是高度专业化的超窄滤滤光片，其中心波长 (CWL)与检测工具所采用的强大单色光源（通常是激光器）精确匹配。
具体参数（波长和 FWHM）完全取决于检测技术、被检测的晶圆层以及目标缺陷的大小。