晶圆检测用带通滤光片
用于晶圆检测的带通滤光片（BPFs）是高度专业化的超窄带滤光片，其中心波长（CWL）与检测设备所用的高功率单色光源（通常为激光器）精确匹配。
具体参数（波长和FWHM）完全取决于检测技术、受检晶圆层以及目标缺陷的尺寸。
用于晶圆检测的带通滤光片（BPFs）是高度专业化的超窄带滤光片，其中心波长（CWL）与检测设备所用的高功率单色光源（通常为激光器）精确匹配。
具体参数（波长和FWHM）完全取决于检测技术、受检晶圆层以及目标缺陷的尺寸。