激光线清洁过滤器

  • Laser Line Bandpass Filter

    常用激光线和波长

    准分子激光器：

    • ArF ：193nm（半导体光刻、硅片精密清洗）。
    • KrF ：248nm（去除光刻胶残留物和有机污染物）。
    • XeCl ：308 nm（医疗器械表面去污）。

    Nd:YAG激光器：

    • 基本波长：1064 nm（工业金属清洁，去除铁锈和氧化层）。
    • 二次谐波（SHG） ：532 nm（用于精密清洁的可见光）。
    • 第四谐波（FHG） ：266nm（光学元件的超精密清洁）。
    • 第三谐波（THG） ：355nm（半导体晶圆清洗，去除亚微米颗粒）。

    氦氖（He-Ne）激光器：

    • 红色：632.8 nm（电子制造中的对准和检查）。
    • 绿色：543.5 nm（塑料上的激光标记）。

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