用于半导体激光检测系统的带通滤光片
用于半导体激光检测系统的带通滤光片可透射选定的激光波长，同时减少不需要的带外光和背景噪声。在晶圆检测、缺陷检测和光学计量中，这些滤光片可分离由半导体表面散射或反射的特定激光信号，确保在不受环境光或二次发射干扰的情况下准确识别缺陷并分析表面。
应用：
-
晶圆表面检测系统，通过分离散射激光来检测颗粒、划痕和微小缺陷
-
光学计量，通过过滤反射激光信号来测量关键尺寸（CD）和薄膜厚度
-
在自动光学检测（AOI）系统中抑制背景噪声和荧光，确保传感器聚焦于主要激光波长