248nm带通滤光片（KrF）

语境： 光学投影镜头系统用于微光刻（将电路图案印刷到半导体晶圆上的工艺）。

滤光片的用法：带通滤光片（通常是线宽缩小模块或光谱纯度滤光片的一部分）放置在 KrF 准分子激光光源的光路中，位于光线进入投影透镜之前。

功能：它严格限制照明光的光谱带宽为 248 nm，通常将其缩小到皮米 (pm) 的一小部分。

结果：这可以防止这种情况发生。色差投影镜头（由单一材料熔融石英制成，无法校正颜色焦点偏移），使系统能够以完美的焦点打印极其精细的特征（亚微米级）。

语境： 准分子激光检测系统用于检测半导体晶圆上的缺陷。

滤光片的用法：该滤光片用于照明臂或检测路径中，以将特定的 248 nm 激光线从背景噪声或宽带发射中分离出来。

功能：它起到了……的作用光谱选择器确保只有高能深紫外 (DUV) 光与样品相互作用或到达检测器，同时阻挡可能降低对比度的较长波长（可见光/红外线）。

结果：利用高信噪比实现了对晶圆表面“亚波长”缺陷（比光本身还小的缺陷）的高速检测。

语境： 用于蛋白质分析的天然荧光检测（尤其是在毛细管电泳系统中）。

滤光片的用法：带通滤光片位于光源（通常是激光驱动的等离子体或倍频激光器）之后，用于在激发光束照射到毛细管之前对其进行“净化”。

功能：它选择特定的深紫外激发波长（例如 248 nm 或类似的深紫外谱线），并阻挡任何可能干扰精细荧光信号的杂散光或其他谐波频率。

结果：该系统成功激发天然荧光团（如氨基酸色氨酸）在蛋白质内部无需外部染料标记即可实现极高的灵敏度（检测限在 10-20 nM 范围内）。