SP1310 短波通滤光片(T>90%@750-1300nm,OD5@1350-2070nm)

硅晶圆与太阳能电池检测

硅对波长大于 ~1100 nm 的光会变得透明。将此滤光片与 InGaAs 相机配合使用，可在 1100 nm 与 1300 nm 之间形成一个理想的“透明窗口”。

• 使用此滤光片的原因： 标准InGaAs传感器的灵敏度范围可达1700 nm。如果不截止更长波长（1350–1700 nm），图像可能受到色差（模糊）或热噪声的影响。该滤光片将相机的检测范围限制在硅材料透射区域中可实现高分辨率的最佳波段。
• 应用场景: 检查硅锭、晶圆或 MEMS 器件内部的缺陷，或检查晶圆背面的对准标记。

推荐光源

• 高功率SWIR LED（1150 nm或1200 nm）： 其发射波长精确位于硅的目标“透明窗口”（1100–1300 nm）内，可提供高对比度和极低热量，同时减轻滤光片截止更长波长的负担。
• 钨卤素灯： 这类光源可提供连续的宽光谱照明，完全覆盖1100–1300 nm窗口，从而确保最大信号强度，用于检测需要全光谱覆盖的细微背面对准标记或内部裂纹。

“水盲”成像（水分去除）

水在1450 nm处有一个很强的吸收峰。该范围内的光会被水分强烈吸收，使水呈现黑色。

• 为何使用此滤光片： 该滤光片在1310 nm处截止，可有效阻挡1450 nm水吸收带。这样便可检测食品或生物组织等含水有机材料，同时避免水分使图像变暗或模糊。它可在NIR-IIa窗口（1000–1300 nm）中进行“深层组织”成像。在该窗口内，散射较低，水吸收尚未占据主导。

推荐光源

• 宽带卤素灯或钨灯： 此类光源可在整个1000–1300 nm窗口内提供连续的高强度照明，使光子在滤光片截止水吸收带之前尽可能深入厚生物样品或食品内部。
• SWIR LED（1050 nm 或 1200 nm）： 这类 LED 在低散射窗口内发出低热量的定向光，可防止敏感湿润样品（如组织或农产品）受到热损伤，同时将能量高效集中在滤光片透射性能最佳的波段。