Entwurf und Herstellung eines Bandpassfilters mit hoher Transmission und beidseitig steiler Flanke

Zitat

王瑞生 (Wang Ruisheng), 吕少波 (Lü Shaobo), 阴晓俊 (Yin Xiaojun), 赵帅锋 (Zhao Shuaifeng) und 孙言 (Sun Yan). (年代不详). 高透射双侧锐截止带通滤光片的设计制造 [Entwurf und Herstellung eines Bandpassfilters mit hoher Transmission und steiler Flanke auf beiden Seiten]. 沈阳仪表科学研究院有限公司 (Shenyang Academy of Instrumentation Science co., Ltd), 汇博光学 (HB Optical), 辽宁沈阳 110043 [Shenyang, Liaoning 110043, China].

Schlüsselwörter

  • 带通滤光片 / Bandpassfilter
  • 双侧锐陡度 / Steile Kante auf beiden Seiten
  • Endbereich/Sperrhang/Steilheit beider Sperrhänge
  • 高透射 / Hohe Durchlässigkeit
  • Nb2O5 und SiO2
  • 152 Stück / 152 Schichten
  • 16 x / 16 Kavitäten
  • 膜厚监控 / Filmdickenüberwachung
  • 直接光控 / Direkte optische Überwachungssteuerung
  • 等离子体辅助反应磁控溅射 / Plasmaunterstütztes reaktives magnetisches Sputtern

Knapp

Dieser Artikel beschreibt detailliert den Entwurf und die Herstellung eines 152-lagigen Bandpassfilters mit 16 Hohlräumen unter Verwendung von Nb2O5 und SiO2, der durch eine hybride Dickenkontrollmethode und plasmaunterstütztes reaktives Magnetronsputtern eine hohe Durchlässigkeit (95,4 %) und steile Grenzkurven (<λ/100) erreicht.

Zusammenfassung

Dieser Artikel beschreibt detailliert die Entwicklung und Herstellung eines Hochleistungs-Bandpassfilters aus 152 Schichten Nb2O5 und SiO2. Der Filter mit 16 (bzw. 12) Hohlräumen erreicht eine hohe Spitzendurchlässigkeit (95,4 %) und scharfe Grenzflanken (<λ/100) auf beiden Seiten des Durchlassbereichs . Der Herstellungsprozess nutzte eine Kombination aus direkter optischer und zeitlicher Kontrolle der Filmdicke , die durch Simulation mit einem Fehler von weniger als ±0,1 % bestätigt wurde . Der Filter wurde mit einer plasmaunterstützten reaktiven Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage hergestellt .

Herkunft:

Zurück zum Blog