Entwurf und Herstellung eines kombinierten Bandpassfilters für mittelwelliges Infrarot

Zitat

王航 (WANG Hang), 熊长新 (XIONG Chang-xin), 何光宗 (HE Guang-zong). 组合结构的中波红外带通滤光片研制 (Design und Vorbereitung eines kombinierten Infrarot-Bandpassfilters mittlerer Wellenlänge) [J]. 光学与光电技术 (Optik und optoelektronische Technologie), 2015, 13(4): 83-86.

Schlüsselwörter

• 中波红外 / Mittelwelliges Infrarot
• 带通滤光片 / Bandpassfilter
• 组合结构 / Kombinationsstruktur
• Langwellenpass
• Kurzwellenpass
• 截止带 / Ablehnungsband/Cut-Off-Band
• Transmission
• Si-Substrat / Si-Substrat
• 电子束蒸发 / Elektronenstrahlverdampfung
• 离子束辅助沉积 / Ionenstrahlunterstützte Abscheidung
• Ge / Germanium
• ZnS / Zinksulfid
• 光学性能 / Optische Leistung
• GJB2485 - 95 (Umweltprüfnorm)
• Wärmebildkamera / Wärmebildkamera
• 红外光谱仪 / Infrarotspektrometer – FTIR
• 截止波长 / Grenzwellenlänge
• Passband / Durchlassbereich

Knapp

In diesem Artikel werden die Forschung und Entwicklung eines Bandpassfilters für den mittelwelligen Infrarotbereich beschrieben , der auf einem Si-Substrat unter Verwendung einer Kombination aus Filmen mit langwelligem und kurzwelligem Durchlass hergestellt wird , die durch Elektronenstrahlverdampfung und ionenstrahlunterstützte Abscheidung aufgebracht werden. Dadurch wird eine durchschnittliche Durchlässigkeit von über 80 % im Bereich von 3,7 bis 4,2 μm und eine gute Blockierung außerhalb des Bandes erreicht .

Zusammenfassung

Dieser Artikel beschreibt die Entwicklung eines Bandpassfilters für mittelwelliges Infrarot durch die Kombination von langwellig und kurzwellig durchlässigen Filmen, die mittels Elektronenstrahlverdampfung und ionenstrahlunterstützter Abscheidung auf einem Si-Substrat abgeschieden wurden . Der resultierende Filter erreichte eine durchschnittliche Durchlässigkeit von über 80 % im Bereich von 3,7–4,2 μm und eine gute Blockierung in den Bereichen von 3–3,6 μm und 4,3–5 μm und hat die Tests auf Umweltverträglichkeit bestanden . Die Verwendung einer kombinierten Struktur ermöglicht eine höhere Rechtwinkligkeit und ein breiteres Durchlass- und Sperrband im Vergleich zu herkömmlichen Fabry-Pérot-Strukturen . Der Entwurf beinhaltete die Optimierung des Filmsystems unter Verwendung von Ge und ZnS als Materialien mit hohem und niedrigem Brechungsindex und die Behandlung von Problemen wie der Fehlanpassung des Brechungsindex des Substrats durch Anpassungsschichten . Die Leistung des hergestellten Filters kam dem theoretischen Entwurf sehr nahe und erfüllte die erforderlichen Spezifikationen.

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