Entwurf und Herstellung eines Bandpassfilters für den mittleren Infrarotbereich

Zitat

陈朝平 (CHEN Chao-ping), 师建涛 (SHI Jian-tao), 郭 芮 (GUO Rui), 白 波 (BAI Bo), 杨崇民 (YANG Chong-min), 郭鸿香 (GUO Hong-xiang). 中红外带通滤光片的设计与制备 (Entwurf und Vorbereitung eines Bandpassfilters für den mittleren Infrarotbereich) [J]. 应用光学 (Journal of Applied Optics), 2012, 33(3): 595-598.

Schlüsselwörter

• 中红外带通滤光片 / Mittelinfrarot-Bandpassfilter
• Dünne Filme
• 离子辅助沉积 / Ionenstrahlunterstützte Abscheidung – IBAD
• 通带半宽度 /Volle Breite bei halbem Maximum – FWHM
• 峰值透过率 / Spitzenübertragung
• Germanium - Ge
• 硫化锌 / Zinksulfid - ZnS
• Luft- und Raumfahrt
• Meteorologie
• Fernerkundung
• 光学薄膜 / Optische Dünnfilme
• Filmstruktur
• 镀膜材料 / Beschichtungsmaterialien
• Substrat - Ge
• λ/4-Stapel / λ/4-Stapel
• 中心波长 / Zentrale Wellenlänge/Spitzenwellenlänge
• FP结构 / Fabry-Pérot-Struktur
• Matching Layer / Matching-Ebene
• 相对带宽 / Relative Bandbreite
• ZJSX-1100镀膜机 / ZJSX-1100 Beschichtungsmaschine
• 电子枪热蒸发 / Elektronenstrahlverdampfung
• 预镀中间层 / Zwischenschicht vorbeschichten
• Übergangsschicht / Übergangsschicht
• 膜厚仪 / Filmdickenmonitor - IC5
• 光谱性能 / Spektrale Leistung
• 膜层致密 / Dichte Filmschicht
• Adhäsion / Adhäsion
• Filmstress
• 透射光谱 / Transmissionsspektrum
• 减反射膜 / Antireflexionsfolie
• Stabilität
• 湿度实验 / Feuchtigkeitsexperiment

Knapp

In diesem Artikel wird der Entwurf und die erfolgreiche Herstellung eines Bandpassfilters für den mittleren Infrarotbereich unter Verwendung von Ge- und ZnS-Materialien auf einem Ge-Substrat durch ionenunterstützte Abscheidung erörtert , wobei eine Spitzendurchlässigkeit von über 87 % und eine Halbwertsbreite (FWHM) von 70 nm bei guter optischer Stabilität und guten Filmeigenschaften erreicht werden.

Zusammenfassung

Dieser Artikel beschreibt den Entwurf und die erfolgreiche Herstellung eines Mittelinfrarot-Bandpassfilters aus Germanium (Ge) und Zinksulfid (ZnS) auf einem Ge-Substrat mittels ionenunterstützter Abscheidung . Der hergestellte Filter erreichte eine Spitzentransmission von über 87 % und eine Halbwertsbreite (FWHM) von 70 nm und zeichnete sich durch gute optische Stabilität und gute Filmeigenschaften aus . Das Design nutzte eine FP-Struktur mit passenden Schichten zur Leistungssteigerung.

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