Herstellung einer Dualband-Grenzfrequenz für sichtbare Bandpassfilter

Zitat

齐健 [Qi Jian], 苏宙平 [Su Zhou-ping], 胡立发 [Hu Li-fa], 朱华新 [Zhu Hua-xin], 何一峰 [He Yi-feng]. 双截止透可见带通滤光片研制 [Herstellung einer Dualband-Grenze für sichtbare Bandpassfilter]. 激光与红外 (Laser & Infrarot), 2019, 49(12): 1472-1477.

Schlüsselwörter

• 双截止透可见带通滤光片 / Dualband-Cut-Off-Bandpassfilter für sichtbaren Bereich
• 蓝宝石基底 / Saphirsubstrat
• 截止带波长 / Grenzbandwellenlänge
• 通带波长 / Passband-Wellenlänge
• TiO2 / Titandioxid
• SiO2 / Siliziumdioxid
• Dünnschicht
• 膜系设计 / Filmsystemdesign
• 电子束蒸发物理气相沉积 / Physikalische Gasphasenabscheidung mit Elektronenstrahl – EBPVD
• Transmission
• Cut-off-Tiefe / Cut-off depth
• 通带平均透过率 / Durchschnittliche Durchlässigkeit des Durchlassbandes
• 半宽度 HFWD / Halbe Breite bei vollem Maximum – HFWD
• Halbwellenloch / Halbwellenloch
• 对称周期膜系 / Symmetrisches periodisches Filmsystem
• 等效折射率 / Äquivalenter Brechungsindex
• 截止带宽 / Grenzbandbreite
• 吸收系数 / Absorptionskoeffizient
• Brechungsindex / Brechungsindex
• 色散曲线 / Dispersionskurve

Knapp

Dieser Artikel beschreibt detailliert den Entwurf und die Herstellung eines Dualband-Sperrfilters auf einem Saphirsubstrat unter Verwendung von dünnen TiO2- und SiO2-Filmen, die durch Elektronenstrahlverdampfung abgeschieden werden, um eine hohe Durchlässigkeit im sichtbaren Bereich (0,4–0,8 μm) und eine wirksame Blockierung von Wellenlängen im nahen Ultraviolett (0,3–0,4 μm) und nahen Infrarot (0,8–1,1 μm) zu erreichen.

Zusammenfassung

Diese Arbeit beschreibt Design, Herstellung und Prüfung eines Dualband-Sperrfilters auf einem Saphirsubstrat unter Verwendung von TiO₂- und SiO₂-Dünnschichten, die durch Elektronenstrahlverdampfung abgeschieden wurden . Der Filter ist so konzipiert, dass er sichtbares Licht (0,4–0,8 μm) hocheffizient durchlässt und gleichzeitig Wellenlängen im nahen Ultraviolett (0,3–0,4 μm) und nahen Infrarot (0,8–1,1 μm) blockiert. Dabei werden gute Sperrtiefen erreicht und das Phänomen des „Halbwellenlochs“ effektiv unterdrückt . Der hergestellte Filter zeigte eine hohe durchschnittliche Transmission (97,68 %) im Durchlassbereich und eine gute Stabilität in Umwelttests.

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