Optische Spektren und Oberflächenmorphologien von Nahinfrarot-Schmalbandpassfiltern mittels dualer Ionenstrahlzerstäubung

Zitat

陈刚 [Chen Gang], 刘定权 [Liu Dingquan], 马冲 [Ma Chong], 王凯旋 [Wang Kaixuan], 张莉 [Zhang Li], 高凌山 [Gao Lingshan]. 双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌 [Optische Spektren und Oberflächenmorphologien von Nahinfrarot-Schmalbandpassfiltern unter Verwendung von Dual-Ionenstrahl-Sputtern]. 光学学报 (Acta Optica Sinica), 2020, 40(11): 2131001.

Schlüsselwörter

• 近红外窄带通滤光片 /Nahinfrarot-Schmalbandpassfilter
• 双离子束溅射 / Dual-Ionenstrahl-Sputtern – DIBS
• Nb2O5 / Niobpentoxid
• SiO2 / Siliziumdioxid
• Aluminiumlegierung (Al2O3) / Saphirsubstrat
• 中心波长 / Zentrale Wellenlänge
• Bandbreite
• Transmission
• 表面形貌 / Oberflächenmorphologie
• 表面粗糙度 / Oberflächenrauheit
• 膜系设计 / Filmsystemdesign
• 电子束蒸镀 / Elektronenstrahlverdampfung
• 薄膜缺陷 / Dünnschichtdefekte
• 截止带 / Stoppband / Ablehnungsband
• Optische Kopplung

Knapp

Dieser Artikel berichtet über die Entwicklung und Herstellung von Nahinfrarot-Schmalbandpassfiltern mit Mittenwellenlängen von 1375 nm und 1610 nm unter Verwendung von dualem Ionenstrahlsputtern (DIBS) von Nb2O5- und SiO2-Dünnfilmen auf Saphirsubstraten und zeigt eine verbesserte Oberflächenqualität und Gleichmäßigkeit im Vergleich zur Elektronenstrahlverdampfung.

Zusammenfassung

In diesem Dokument werden Design und Herstellung von Nahinfrarot-Schmalbandpassfiltern mit zentralen Wellenlängen bei 1375 nm und 1610 nm auf Saphirsubstraten mittels dualer Ionenstrahlzerstäubung (DIBS) von Nb2O5- und SiO2-Dünnschichten beschrieben . Die Filter erreichten eine hohe Transmission (95 %) und eine gute Außerbandunterdrückung . Wichtig ist, dass durch DIBS Filter mit deutlich verbesserter Oberflächenqualität (Rauhigkeit unter 1 nm) und weniger Defekten im Vergleich zur Elektronenstrahlverdampfung (IBAD) erzeugt wurden , was in Verbindung mit Fotodetektoren zu einer besseren Gleichmäßigkeit führte . Die Filter sind für die atmosphärische Überwachung von Wasserdampf, Methan und Kohlendioxid vorgesehen.

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