Streueigenschaften von verlustarmen 1064-nm-Bandpassfilter-Mehrschichtfilmen

Zitat

刘冬梅 (Liu Dongmei), 罗云峰 (Luo Yunfeng), 付秀华 (Fu Xiuhua), 鲍刚华 (Bao Ganghua), 张静 (Zhang Jing) und 卢成 (Lu Cheng). (5. Mai 2021). 低损耗１０６４ｎｍ带通滤光片多层膜的散射特性研究 [Scattering Properties of Low-Loss 1064nm Bandpass Filter Multilayer Films].中国激光[ Chinese Journal of Lasers ], 48 (9), 0903004. doi: 10.3788/CJL202148.0903004

Schlüsselwörter

• 1064-nm-Bandpassfilter / 1064-nm-Bandpassfilter
• Mehrschichtfolien / Mehrschichtfolien
• 散射特性 / Streueigenschaften
• Verlustarm / Low Loss
• TiO2 / Titandioxid
• SiO2 / Siliziumkarbid
• 氧分压 / Sauerstoffpartialdruck
• 离子辅助制备 / Ionenunterstützte Abscheidung
• 表面粗糙度 / Oberflächenrauheit
• 界面散射 / Schnittstellenstreuung
• 标量散射理论 / Skalare Streutheorie
• 完全相关 / Vollständige Korrelation

Knapp

In diesem Artikel werden die Streuungseigenschaften von verlustarmen 1064-nm-Bandpassfilter-Mehrschichtfilmen untersucht , die unter Verwendung von TiO2 und SiO2 unter unterschiedlichen Sauerstoffpartialdrücken hergestellt wurden. Dabei stellt sich heraus, dass die Verwendung des gleichen Sauerstoffpartialdrucks während der Abscheidung zu einer geringeren Streuung und einer verbesserten Transmission aufgrund einer stabileren Ionenstrahlquelle führt.

Zusammenfassung

In diesem Artikel werden die Streueigenschaften von verlustarmen 1064-nm-Bandpassfilter-Mehrschichtfilmen aus TiO2 und SiO2 untersucht. Die Forscher haben diese Filme mittels ionenunterstützter Abscheidung unter zwei Bedingungen hergestellt: gleichem Sauerstoffpartialdruck für beide Materialien und unterschiedlichen Sauerstoffpartialdrücken. Sie fanden heraus, dass bei gleichem Sauerstoffpartialdruck eine geringere Oberflächenrauheit, gleichmäßigere Filmschichten und eine bessere Transmission erzielt wurden . Diese Verbesserung ist auf einen stabileren Betrieb der Kaufman-Ionenquelle zurückzuführen , der zu einer geringeren Streuung an der Grenzfläche führt. Umgekehrt verursachten wechselnde Sauerstoffpartialdrücke einen instabilen Ionenstrahl, eine erhöhte Grenzflächenrauheit und somit höhere Streuverluste . In der Studie wurde die Transmission der Filme sowohl unter vollständig korrelierten als auch unter unvollständig korrelierten Grenzflächenrauheitsbedingungen mithilfe der skalaren Streutheorie modelliert. Die theoretischen Modelle zeigten eine gute Übereinstimmung mit den experimentellen Ergebnissen . Letztendlich unterstreicht die Forschung, wie wichtig es ist, eine stabile Abscheidungsumgebung aufrechtzuerhalten, insbesondere einen konstanten Sauerstoffpartialdruck, um die Streuung zu minimieren und leistungsstarke 1064-nm-Bandpassfilter mit geringem Verlust herzustellen.

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