Untersuchung und Vorbereitung eines Mittel-Infrarot-Zweikanal-Bandpassfilters

Zitat

王松林 (WANG Song － lin), 米高园 (MI Gao － yuan), 张建付 (ZHANG Jian － fu), 杨崇民 (YANG Chong － min), 刘青龙 (LIU Qing － long), 王颖辉(WANG Ying － hui),韩 俊 (HAN Jun). 中波红外双通道带通滤光片的研制 (Untersuchung und Vorbereitung eines Mittel-Infrarot-Zweikanalband-Passfilters) [J]. 激 光 与 红 外 (Laser & Infrarot), 2017, 47(6): 740-744.

Schlüsselwörter

• 中波红外 / Mittelwellen-Infrarot
• 双通道带通滤光片 / Zweikanal-Bandpassfilter
• 带通滤光膜 / Bandpassfilterfolie
• 负滤光膜 / Negativfilterfilm
• 截止带 / Ablehnungszone/Grenzbereich
• Transmission
• Ge-Substrat / Ge-Substrat
• 锗 / Ge
• ZnS
• 电子束蒸发 / Elektronenstrahlverdampfung
• Filmdicke
• Verdampfungswinkel / Verdampfungswinkel
• 膜系设计 / Filmsystemdesign
• 光谱性能 / Spektrale Eigenschaft
• Passband / Durchlassbereich
• Zweite Gipfel
• Filmstapel
• 霍尔离子源 / Hall-Ionenquelle

Knapp

In diesem Artikel werden der Entwurf und die Herstellung eines Zweikanal-Bandpassfilters für den mittleren Infrarotbereich detailliert beschrieben . Dabei wird auf der einen Seite eines Ge-Substrats ein Bandpassfilterfilm und auf der anderen Seite ein Negativfilterfilm aufgebracht. Dadurch werden gute Transmissions- und Cut-off-Eigenschaften erreicht, obwohl die Versuchsergebnisse aufgrund von Herstellungsfehlern einige Abweichungen zeigten.

Zusammenfassung

Dieser Artikel beschreibt detailliert den Entwurf und die Herstellung eines Zweikanal-Bandpassfilters für den mittleren Infrarotbereich. Dabei wird auf der einen Seite eines Germaniumsubstrats (Ge) ein Bandpassfilterfilm und auf der anderen Seite ein negativer Filterfilm abgeschieden . Die Studie erzielte eine gute Durchlässigkeit und Sperrtiefe , die experimentellen Ergebnisse zeigten jedoch einige Abweichungen im Sperrbereich mit sekundären Peaks und einer leichten Verschiebung aufgrund von Änderungen des Aufdampfwinkels und akkumulierten Filmdickenfehlern während des Abscheidungsprozesses.

Herkunft: