長波赤外線における広い遮断と高い急峻性を備えたバンドパスフィルタの開発

引用

任开発行（レン・カイファ）。 長波外宽止高度带通透過光片の開発（長波赤外線における広いカットオフと高い急峻性を備えたバンドパスフィルターの開発） 。 硕士学位论文（修士論文）、长春理工大学（長春科学技術大学）、二〇二四年五月（2024年5月）。

キーワード

• 长波红外 / 長波赤外線 / LWIR
• ワイドカットオフ
• 高い傾斜
• バンドパスフィルター / バンドパスフィルター
• 赤外線探知 / 赤外線検出
• 透過率
• 截止度 / 遮断 / 拒否
• 迷光 / Stray light
• システム感度 / システム感度
• ノイズ
• 锗 / ゲルマニウム / Ge
• 酸化锌 / 硫化亜鉛 / ZnS
• 光学薄膜 / 光学薄膜
• フィルムシステム设计 / フィルムシステム設計
• 機械掩型法 / メカニカルマスク法
• 真空コーティング
• 電子蒸蒸 / 電子銃蒸着
• 電気抵抗熱蒸散 / 抵抗熱蒸着
• 金属化膜・メタライズフィルム
• 溶接
• 光谱测试 / スペクトルテスト
• 膜厚差／膜厚誤差
• 边缘メタライゼーション / エッジメタライゼーション
• 真空封装 / 真空包装
• 膜応力
• 環境試験 / 環境試験
• 空心阴极霍尔离子源 / ホローカソードホールイオン源
• 水晶振動膜厚制御／水晶微量天秤／QCM

簡単な

この修士論文は、赤外線検出システムへの応用において、10～11μmの範囲での高い透過率と大幅な帯域外除去を目標とし、広いカットオフと高い急峻度を備えた長波赤外線バンドパスフィルタの研究開発に焦点を当てています。

まとめ

任凱発によるこの記事では、赤外線検出器用に設計された長波赤外線（LWIR）バンドパスフィルタの研究開発について詳しく説明しています。この研究では、 Ge基板上のGeおよびZnS材料を使用した光学薄膜構造の設計、機械マスク法と真空コーティングを使用したその製造方法、溶接およびパッケージング用のメタライゼーションフィルムの開発について説明しています。主な成果としては、 10〜11μmの範囲で高い平均透過率（94.3％）、低いリップル（1.6％）、高いカットオフ（4〜9.5μmおよび11.5〜16μmの範囲で平均透過率<0.1％）を達成したことが挙げられます。この研究では、モデリングと補正を通じてフィルムの厚さの誤差などの課題にも対処し、信頼性の高い溶接のためにメタライゼーションプロセスを最適化しました。製造されたフィルタは、さまざまな環境テストに合格しました。

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