中波長赤外線バンドパス複合フィルタの設計と作製

引用

王航 (WANG Hang)、熊长新 (XIONG Chang-xin)、何光宗 (HE Guang-zong)。 組み合わせ構造の中波外バンドパス透過光片の開発（中波長赤外バンドパス複合フィルターの設計と作製）[J]。 光学と光電子技術 (光学および光電子技術)、2015、13(4): 83-86。

キーワード

• 中波红外 / 中波赤外線
• バンドパスフィルター / バンドパスフィルター
• 結合構造 / 結合構造
• 長波通
• 短波通
• 截止带 / リジェクションバンド/カットオフバンド
• 透過率
• Si 基質 / Si 基板
• 電子ビーム蒸着 / 電子ビーム蒸着
• 离子束辅助蒸着 / イオンビーム支援蒸着
• ゲルマニウム
• ZnS / 硫化亜鉛
• 光学性能 / 光学性能
• GJB2485 - 95（環境試験規格）
• 熱画像装置
• 红外光谱仪 / 赤外分光計 - FTIR
• 遮断波长 / カットオフ波長
• 通過帯域

簡単な

この記事では、電子ビーム蒸着法とイオンビームアシスト蒸着法で蒸着した長波透過膜と短波透過膜を組み合わせてSi 基板上に製造し、 3.7 ～4.2μm の範囲で平均透過率が80% 以上、帯域外ブロッキングが良好な中波赤外線バンドパス フィルターの研究開発について詳しく説明します。

まとめ

本稿では、電子ビーム蒸着法とイオンビームアシスト蒸着法を用いてSi基板上に堆積した長波通過膜と短波通過膜を組み合わせた中波赤外線バンドパスフィルタの開発について述べる。得られたフィルタは、 3.7～4.2μmの範囲で平均透過率が80%を超え、 3～3.6μmと4.3～5μmの範囲で良好なブロッキングを達成し、環境適応性テストに合格した。複合構造の使用により、従来のファブリペロー構造と比較して、より高い矩形性と広い通過帯域および阻止帯域が可能になる。設計では、高屈折率材料と低屈折率材料としてGeとZnSを使用して膜システムを最適化し、整合層を介して基板の屈折率の不一致などの問題に対処した。製作されたフィルタの性能は理論設計に近く、必要な仕様を満たしていた。

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