中赤外線バンドパスフィルタの設計と準備

引用

陈朝平 (CHEN Chao-ping)、师建涛 (SHI Jian-tao)、郭芮 (GUO Rui)、白波 (BAI Bo)、杨崇民 (YANG Chong-min)、郭鸿香 (GUO Hon-xiang)。 中外帯域透過光シートの設計と作成（中赤外バンドパスフィルターの設計と作成）[J]。 応用光学 (Journal of Applied Optics)、2012、33(3): 595-598。

キーワード

• 中赤外透過光片 / 中赤外バンドパスフィルター
• 薄膜
• イオンビーム支援蒸着 - IBAD
• 通带半宽度/半値全幅 - FWHM
• ピーク値透過率 / ピーク透過率
• ゲルマニウム - Ge
• 硫化亜鉛 / 硫化亜鉛 - ZnS
• 航天 / 航空宇宙
• 気象学
• 遠隔感知
• 光学薄膜 / 光学薄膜
• 膜系構造
• 镀膜材料・コーティング材料
• 基質 / Substrate - Ge
• λ/4 堆 / λ/4 スタック
• 中心波長 / 中心波長/ピーク波長
• FP结构 / ファブリペロー構造
• マッチング層
• 相対带宽 / 相対帯域幅
• ZJSX-1100镀膜機 / ZJSX-1100コーティング機
• 電子蒸着 / 電子ビーム蒸着
• 预镀中间層 / プレコート中間層
• 遷移層
• 膜厚仪 / 膜厚モニター - IC5
• 光谱性能 / 分光性能
• 膜層緻密 / 緻密な膜層
• 接着力
• 膜応力
• 透射光谱 / 透過スペクトル
• 减反射膜・反射防止膜
• 安定性
• 湿度实验 / 湿度実験

簡単な

この記事では、イオンアシスト蒸着法によって Ge 基板上に Ge および ZnS 材料を使用した中赤外線バンドパス フィルターの設計と作製方法について説明します。このフィルターは、優れた光学安定性とフィルム特性を備え、87% を超えるピーク透過率と 70nm の FWHM (透過半値幅) を達成しています。

まとめ

この記事では、イオンアシスト蒸着法を用いてゲルマニウム (Ge) と硫化亜鉛 (ZnS) 材料を Ge 基板上に使用して中赤外線バンドパス フィルターを設計し、その作製に成功した例について詳しく説明します。作製されたフィルターは、 87% を超えるピーク透過率と70nm の透過半値幅 (FWHM)を達成し、優れた光学安定性とフィルム特性を実証しました。この設計では、性能を向上させるために、マッチング層を備えた FP 構造を採用しました。

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