可視帯域通過フィルタ用デュアルバンドカットオフの製造

引用

齐健 [Qi Jian]、苏宙平 [Su Zhou-ping]、胡立播 [Hu Li-fa]、朱华新 [Zhu Hua-xin]、何一峰 [He Yi-feng]。 デュアルバンドカットオフ可視バンドパスフィルターの製作。 激光と外 (レーザーと赤外線)、2019、49(12): 1472-1477。

キーワード

• デュアルバンドカットオフ可視バンドパスフィルター
• 蓝宝石基底 / サファイア基板
• 截止带波长 / カットオフバンド波長
• 通過波長長 / 通過帯域波長
• TiO2 / 二酸化チタン
• SiO2 / 二酸化ケイ素
• 薄膜
• フィルムシステム设计 / フィルムシステム設計
• 電子ビーム蒸着物理気相蒸着 / 電子ビーム物理蒸着 - EBPVD
• 透過率
• 遮断深度
• 通過平均透過率 / 通過帯域の平均透過率
• 半度 HFWD / フル最大値の半値幅 - HFWD
• 半波孔
• 対称周期膜系 / 対称周期膜系
• 等效屈折率 / 等価屈折率
• 截止带宽 / カットオフ帯域幅
• 吸收系数 / 吸収係数
• 屈折率
• 色散曲線 / 分散曲線

簡単な

この記事では、電子ビーム蒸着法で堆積した TiO2 および SiO2 薄膜を使用してサファイア基板上にデュアルバンド カットオフ フィルターを設計および製造し、可視範囲 (0.4 ～ 0.8 μm) で高い透過率と、近紫外線 (0.3 ～ 0.4 μm) および近赤外線 (0.8 ～ 1.1 μm) の波長の効果的な遮断を実現する方法について説明します。

まとめ

本論文では、電子ビーム蒸着法で堆積したTiO2 および SiO2 薄膜を使用したサファイア基板上のデュアルバンド カットオフ フィルタの設計、製造、テストについて説明します。このフィルタは、近紫外線 (0.3-0.4 μm) および近赤外線 (0.8-1.1 μm) の波長をブロックしながら、可視光 (0.4-0.8 μm) を高効率で透過するように設計されており、良好なカットオフ深度を実現し、「半波長ホール」現象を効果的に抑制します。製造されたフィルタは、通過帯域で高い平均透過率 (97.68%) を示し、環境テストで優れた安定性を示しました。

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