デュアルイオンビームスパッタリングを用いた近赤外線狭帯域通過フィルタの光学スペクトルと表面形態

引用

陈刚 [Chen Gang]、刘定权 [Liu Dingquan]、马冲 [Ma Chong]、王凯旋 [Wang Kaixuan]、张莉 [Zhang Li]、高凌山 [Gao Lingshan]。 デュアルイオンビームスパッタリングを使用した近赤外狭バンドパスフィルターの光スペクトルと表面形態の特徴。 光学学报 (Acta Optica Sinica)、2020、40(11): 2131001.

キーワード

• 近外狭帯域透過光片/近赤外狭帯域バンドパスフィルター
• 双离子束溅射 / デュアルイオンビームスパッタリング - DIBS
• Nb2O5 / 五酸化ニオブ
• SiO2 / 二酸化ケイ素
• 蓝宝石 (Al2O3) 基片 / サファイア基板
• 中心波長長 / 中心波長
• 帯域幅
• 透過率
• 表面形状外観 / 表面形態
• 表面粗さ / 表面粗さ
• フィルムシステム设计 / フィルムシステム設計
• 電子束蒸镀 / 電子ビーム蒸着
• 薄膜缺陷 / 薄膜欠陥
• 截止带 / ストップバンド / 拒否バンド
• 光結合

簡単な

この記事では、サファイア基板上にNb2O5とSiO2の薄膜をデュアルイオンビームスパッタリング（DIBS）で形成し、中心波長が1375nmと1610nmの近赤外線狭帯域通過フィルタの設計と製造について報告し、電子ビーム蒸着に比べて表面品質と均一性が向上したことを実証しています。

まとめ

この論文では、Nb2O5 と SiO2 の薄膜のデュアルイオンビームスパッタリング (DIBS) を使用して、サファイア基板上に中心波長が 1375 nm と 1610 nm の近赤外線狭帯域通過フィルタの設計と製造について詳しく説明します。フィルタは、高い透過率 (95%) と優れた帯域外除去を実現しました。重要な点は、 DIBS によって、電子ビーム蒸着 (IBAD) と比較して大幅に改善された表面品質 (粗さ 1 nm 未満) とより少ない欠陥を備えたフィルタが生成され、光検出器と組み合わせた場合の均一性が向上することです。フィルタは、水蒸気、メタン、二酸化炭素の大気モニタリングを目的としています。

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