低損失1064nmバンドパスフィルタ多層膜の散乱特性

引用

刘冬梅 (Liu Dongmei)、罗云峰 (Luo Yunfeng)、付秀华 (Fu Xiuhua)、鲍刚华 (Bao Ganghua)、张静 (Zhang Jing)、卢成 (Lu Cheng)。 （2021年5月）。 低消費 1064nm 透過光片多層膜の散乱特性研究 [低損失 1064nm バンドパス フィルター多層膜の散乱特性].中国レーザー[ Chinese Journal of Lasers ]、 48 (9)、0903004。 土井: 10.3788/CJL202148.0903004

キーワード

• 1064nmバンドパスフィルター / 1064nmバンドパスフィルター
• 多層フィルム
• 散乱特性 / 散乱特性
• 低損失
• TiO2 / 二酸化チタン
• SiO2 / 二酸化ケイ素
• 氧分圧 / 酸素分圧
• 离子辅助制备 / イオンアシスト蒸着
• 表面粗さ / 表面粗さ
• 界面散乱 / 界面散乱
• 标量散射理论 / スカラー散乱理論
• 完全相関 / 完全相関

簡単な

この記事では、異なる酸素分圧下で TiO2 と SiO2 を使用して作成された低損失 1064nm バンドパス フィルター多層膜の散乱特性を調査し、堆積中に同じ酸素分圧を使用すると散乱が減少し、イオン ビーム ソースがより安定するため透過率が向上することを発見しました。

まとめ

本論文では、TiO2とSiO2からなる低損失1064nmバンドパスフィルター多層膜の散乱特性について調査する。研究者らは、両材料の酸素分圧を同じにした場合と、酸素分圧を変えた場合の2つの条件下で、イオンアシスト堆積法を用いてこれらの膜を作製した。同じ酸素分圧を用いた場合、表面粗さが小さくなり、膜層が均一になり、透過率が向上することが分かった。この改善は、カウフマンイオン源の動作がより安定し、界面散乱が減少するためである。逆に、酸素分圧を変えるとイオンビームが不安定になり、界面粗さが増し、散乱損失が大きくなる。本研究では、スカラー散乱理論を用いて、完全に相関した界面粗さ条件と完全に相関していない界面粗さ条件の両方で膜の透過率をモデル化し、理論モデルは実験結果とよく一致した。最終的に、この研究では、散乱を最小限に抑え、高性能で低損失の 1064nm バンドパス フィルターを製造するために、安定した堆積環境、特に一定の酸素分圧を維持することの重要性が強調されています。

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