DCスパッタリングプラズマで作製した天体太陽フィルター用銅と銀の光学特性の研究

引用

SM Abd Al KareemとWI Yaseen、2020、「DCスパッタリングプラズマで作製した天文用太陽フィルター用銅と銀の光学特性の研究」、 IOPカンファレンスシリーズ：材料科学と工学、757（1）、012054。doi ：10.1088 / 1757-899X / 757 / 1 / 012054。

キーワード

• 天文太陽フィルター
• 光学特性
• 銅
• 銀
• DCスパッタリングプラズマ
• ガラス基板
• 透過率
• 吸収度
• 屈折率
• 吸収係数
• 光エネルギーギャップ（Eg）
• 紫外線可視分光光度計
• スパッタリングパワー
• 薄膜（「コーティング層」で示される）
• 波長

簡単な

この研究では、ガラス基板上に銅と銀の天文用太陽フィルターを作製するための DC スパッタリング プラズマ技術を紹介し、透過率、吸光度、屈折率、吸収係数、光エネルギー ギャップなどの光学特性を調査します。

まとめ

この研究は、室温でのDCスパッタリングプラズマ技術を使用して、ガラス基板上に銅と銀の天文用太陽フィルターを作製することに焦点を当てています。膜厚（銅の場合は110〜230 nm、銀の場合は230〜400 nm）とスパッタリング電力（25および50 W）がこれらのフィルターの光学特性に与える影響を調査し、UV可視分光光度計を使用して分析しました。この研究では、コーティングされた層の透過率は波長（350〜750 nm）とともに増加し、エネルギーギャップに対応する短波長では吸光度が減少することがわかりました。光学バンドギャップの値は2〜2.6 eVであることがわかりました。研究者らは、さまざまな条件下で作製されたフィルターの屈折率と吸収係数も決定しました。結論として、この研究ではDCスパッタリングを使用して銅と銀の天文用太陽フィルターを正常に堆積し、スパッタリング電力への依存性に注目しながら、その光学特性を特徴付けました。

出典: https://sci.bban.top/pdf/10.1088/1757-899x%252F757%252F1%252F012054.pdf#