ハードコーティング

光学フィルターの分野では、 ハードコーティングとは、より柔らかいコーティングに比べて優れた耐久性と耐環境性を誇る強固な材料で構成された薄膜堆積を指します。主な特性とコーティング技術の詳細は次のとおりです。

ハードコーティングの特性:

• 材料:通常は、酸化タンタル、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウムなどのより丈夫な材料を使用し、傷、摩耗、過酷な環境に対する耐性を提供します。

• 構造:多くの場合、より密度が高く均質な層で構成され、機械的強度と安定性が向上します。

• 用途:耐久性と信頼性が重要な広帯域フィルター、中性密度フィルター、高性能バンドパス フィルターなど、さまざまなフィルター タイプで広く使用されます。

• 利点:優れた寿命を持ち、過酷な環境に耐え、繊細な取り扱いを必要とせず、一般的に要求の厳しいアプリケーションとの互換性が高い。

• デメリット:ソフトコーティングよりも若干高価になる可能性があり、非常にシャープなカットオフを備えた複雑なフィルター設計を実現するのがより困難になる可能性があります。

ハードコーティングのコーティング技術:

• マグネトロン スパッタリング:この一般的な技術は、ターゲット材料に高エネルギーのアルゴン イオンを照射し、原子をスパッタリングして基板上に堆積させます。層の厚さと均一性に対する優れた制御が可能で、単純なフィルター設計にも複雑なフィルター設計にも最適です。

• イオンビームスパッタリング (IBS):マグネトロンスパッタリングに似ていますが、集束イオンビームを使用してさらに高エネルギーのスパッタリングを行うため、より密度が高く、よりストレス耐性のあるコーティングが得られます。

• パルスレーザー蒸着 (PLD):強力なレーザーパルスを使用してターゲット材料を除去し、基板上に凝縮する粒子の噴流を生成します。この技術により、特定の材料や複雑な構造を正確に蒸着できますが、スパッタリング法よりもコストがかかる場合があります。

重要な注意事項:

• ハードコーティングはソフトコーティングよりも保護の必要性が低い場合が多いですが、カプセル化やセメント化によってさらに耐久性を高めることができます。

• スパッタリング技術の進歩により、ハードコーティングを施した高性能バンドパス フィルターを実現できるようになり、この分野でソフトコーティングとの競争力が高まっています。