248nmバンドパスフィルター

背景: 半導体ウェハー上に回路パターンを形成するプロセスであるマイクロリソグラフィーで使用される光学投影レンズシステム。

フィルターの用途: バンドパスフィルターは、ラインナローイングモジュールまたはスペクトル純度フィルターの一部として使用されることが多く、光が投影レンズに入る前のKrFエキシマレーザー光源の光路に配置されます。

機能： 照明光のスペクトル帯域幅を248 nmに厳密に制限し、通常は1ピコメートル (pm) 未満まで狭帯域化します。

結果： これにより、投影レンズ内の色収差を防止します。このレンズは単一材料の溶融石英でできており、色による焦点位置のずれを補正できません。そのため、システムはサブミクロンの極めて微細な形状を正確に合焦させて描画できます。

背景： 半導体ウェハー上の欠陥を検出するためのエキシマレーザー検査システム。

フィルターの用途： このフィルターは、照明光路または検出光路で使用され、特定の248 nmレーザーラインをバックグラウンドノイズや広帯域発光から分離します。

機能： 分光選択器として機能し、高エネルギーの深紫外（DUV）光のみが試料と相互作用するか検出器に到達するようにするとともに、コントラストを低下させる可能性のある長波長光（可視光/IR）を遮断します。

結果： ウェハー表面の「サブ波長」欠陥（光の波長よりも小さい欠陥）を、高い信号対雑音比で高速検出できます。

背景: タンパク質分析における固有蛍光検出（特にキャピラリー電気泳動システム）。

フィルターの用途： バンドパスフィルターは光源（多くの場合、レーザー駆動プラズマまたは第二高調波レーザー）の後に配置され、励起光がキャピラリーチューブに当たる前に不要な光を除去します。

機能： 特定の深紫外励起波長（248 nmや同様の深紫外線など）を選択し、微弱な蛍光信号に干渉する可能性のある迷光やその他の高調波周波数を遮断します。

結果： このシステムは、外部の蛍光色素標識を必要とせずに、タンパク質内の内在性蛍光団（アミノ酸のトリプトファンなど）を正常に励起し、極めて高い感度（10-20 nMの範囲の検出限界）を実現します。