ウェハ検査用バンドパスフィルター
ウェハ検査に使用されるバンドパスフィルター（BPFs）は、高度に特殊化された非常に狭帯域なフィルターであり、検査装置で使用される高出力の単色光源（通常はレーザー）に正確に一致する中心波長（CWL）を備えています。
具体的なパラメーター（波長およびFWHM）は、検査手法、検査対象のウェハ層、および検出対象となる欠陥のサイズによって全面的に決まります。
ウェハ検査に使用されるバンドパスフィルター（BPFs）は、高度に特殊化された非常に狭帯域なフィルターであり、検査装置で使用される高出力の単色光源（通常はレーザー）に正確に一致する中心波長（CWL）を備えています。
具体的なパラメーター（波長およびFWHM）は、検査手法、検査対象のウェハ層、および検出対象となる欠陥のサイズによって全面的に決まります。