LP360 ロングパスフィルター (T>90%@370-1200nm, OD3@200-350nm)

フォトリソグラフィ（マスク位置合わせ）

これは、LP360.の最も一般的な産業用途の一つです

• 機能： フォトリソグラフィーでは、フォトレジストは水銀ランプが発生するUV光の特定の「輝線」に感応します。LP360フィルターは、劣化や意図しない露光の原因となる深紫外線を遮断しながら、重要なi線（365nm）、h線（405nm）、およびg線（436nm）を透過させるためによく使用されます。
• このフィルターを選ぶ理由 有害な深紫外光（<350nm) from the functional Near UV (365nm+).

推奨光源

このフィルターが透過するように設計された強いスペクトル線を含む広帯域光源が必要です。

• 水銀アークランプ（高圧）： 標準的な光源です。365nm（透過）、405nm（透過）、436nm（透過）に強いピークがあり、さらに深紫外域にもピークがありますが、これはフィルターによって遮断されます。
• メタルハライドランプ： 硬化用途でよく使用されます。フィルターで出力スペクトルを整形し、より有害な短波長UVを除去します。

深紫外蛍光イメージング（発光側）

• 機能：深紫外光源（例：250nm–340nm）で蛍光を励起する場合、励起光によって画像が白飛びしないように、カメラまたはセンサーの前に励起光を遮断するフィルターが必要です。
• このフィルターを使用する理由 LP360は励起光（深紫外）を遮断しながら、生成された発光がUV-A領域（例：360nm–380nm）または可視領域にある場合でも透過させます。

推奨光源

フィルターの遮断領域で発光する光源が必要です。

• 深紫外LED： 255nm、265nm、280nm、310nm、または340nm。
• キセノンフラッシュランプ（フィルター使用）： 250–340nmの範囲を選択するバンドパスフィルターを使用。