반도체 레이저 기반 검사 시스템용 대역통과 필터
반도체 레이저 기반 검사 시스템용 대역 통과 필터는 선택된 레이저 파장을 투과시키면서 불필요한 대역 외 광과 배경 잡음을 줄이도록 설계되었습니다. 웨이퍼 검사, 결함 검출 및 광학 계측에서 이 필터는 반도체 표면에서 산란되거나 반사된 특정 레이저 신호를 분리하여 주변 조명이나 이차 방출의 간섭 없이 결함을 정확하게 식별하고 표면을 분석할 수 있도록 합니다.
응용 분야:
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산란된 레이저광을 분리하여 입자, 스크래치 및 미세 결함을 검출하는 웨이퍼 표면 검사 시스템
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반사된 레이저 신호를 필터링하여 임계 치수(CD)와 박막 두께를 측정하는 광학 계측
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센서가 주 레이저 파장에 집중할 수 있도록 자동 광학 검사(AOI) 시스템에서 배경 잡음과 형광을 제거