웨이퍼 검사 에 사용되는 대역통과 필터(BPF)는 검사 장비에서 사용하는 강력한 단색광원(일반적으로 레이저)의 중심 파장(CWL) 과 정확히 일치하는 매우 특수하고 좁은 대역폭의 필터입니다.

구체적인 매개변수(파장 및 반치폭)는 검사 기술, 검사 대상 웨이퍼 층, 그리고 목표로 하는 결함의 크기에 따라 전적으로 달라집니다.