웨이퍼 검사용 대역통과 필터
웨이퍼 검사에 사용되는 대역통과 필터(BPFs)는 고도로 특수화된 초협대역 필터로, 검사 장비에 사용되는 고출력 단색 광원(일반적으로 레이저)과 정밀하게 일치하는 중심 파장(CWL)을 갖습니다.
구체적인 파라미터(파장 및 FWHM)는 검사 기법, 검사 대상 웨이퍼 층 및 검출하려는 결함의 크기에 따라 전적으로 결정됩니다.
웨이퍼 검사에 사용되는 대역통과 필터(BPFs)는 고도로 특수화된 초협대역 필터로, 검사 장비에 사용되는 고출력 단색 광원(일반적으로 레이저)과 정밀하게 일치하는 중심 파장(CWL)을 갖습니다.
구체적인 파라미터(파장 및 FWHM)는 검사 기법, 검사 대상 웨이퍼 층 및 검출하려는 결함의 크기에 따라 전적으로 결정됩니다.