LP360 롱패스 필터 (T>90%@370-1200nm, OD3@200-350nm)

포토리소그래피(마스크 정렬)

이는 LP360.의 가장 일반적인 산업 응용 분야 중 하나입니다

• 기능: 포토리소그래피에서 포토레지스트는 수은 램프에서 생성되는 특정 UV 광선에 민감합니다. LP360 필터는 열화 또는 원치 않는 노광 효과를 일으킬 수 있는 심자외선을 차단하면서 핵심 i-line(365nm), h-line(405nm) 및 g-line(436nm)을 투과시키는 데 자주 사용됩니다.
• 이 필터를 선택하는 이유 유해한 심자외선(<350nm) from the functional Near UV (365nm+).

권장 광원

이 필터가 투과하도록 설계된 강한 스펙트럼선을 포함하는 광대역 광원이 필요합니다.

• 수은 아크 램프(고압): 표준 광원입니다. 365nm(투과), 405nm(투과), 436nm(투과)에서 강한 피크를 방출하며, 심자외선 영역의 피크도 방출하지만 이는 필터로 차단됩니다.
• 메탈 할라이드 램프: 경화 공정에 자주 사용되며, 필터는 출력 스펙트럼을 조정하여 더 유해한 단파장 UV를 제거합니다.

심자외선 형광 이미징(방출 측)

• 기능: 심자외선 광원(예: 250nm–340nm)을 사용하여 형광을 유도하는 경우, 여기광으로 인해 이미지가 흐려지지 않도록 카메라 또는 센서 앞에 여기광 차단 필터가 필요합니다.
• 이 필터를 사용하는 이유 LP360은 여기광(심자외선)을 차단하면서도, 그 결과 발생하는 방출광이 UV-A 영역(예: 360nm–380nm)이나 가시광 영역에 있더라도 투과시킵니다.

권장 광원

필터의 차단 영역에서 방출하는 광원이 필요합니다.

• 심자외선 LED: 255nm, 265nm, 280nm, 310nm 또는 340nm.
• 제논 플래시 램프(필터 적용): 250–340nm 범위를 선택하는 대역 통과 필터 사용.