오버레이 정확도 검사에 사용되는 광학 필터
오버레이 정확도 검사용 광학 필터는 선택된 가시광선, 자외선 또는 근적외선 대역을 투과시키면서 불필요한 대역 외 광을 줄이도록 설계되었습니다. 반도체 계측 및 포토리소그래피에서 이러한 필터는 서로 다른 웨이퍼 층 사이의 정렬 마크와 구조물에 대한 광학 대비를 높여 층간 정합을 측정할 수 있게 합니다.
응용 분야:
- 여러 실리콘 웨이퍼 층에 걸쳐 정렬 마크의 대비를 높이기 위한 반도체 계측
- 층간 오버레이 정합을 모니터링하고 계산하기 위한 포토리소그래피 공정 제어
- 반도체 제조의 결함 검사 및 임계 치수(CD) 계측