표면하 검사용 대역통과 필터

표면하 검사용 대역 통과 필터는 선택된 근적외선(NIR) 및 단파 적외선(SWIR) 대역을 투과시키면서 불필요한 대역 외 광과 표면 반사를 줄이도록 설계되었습니다. 이러한 특정 파장은 실리콘, 일부 플라스틱, 생체 조직과 같이 가시광선에 불투명한 물질을 투과할 수 있으므로, 이 필터를 사용하면 광학 센서로 내부 구조, 층, 숨겨진 결함을 포착할 수 있습니다.

응용 분야:

  • SWIR 파장을 분리하여 실리콘 웨이퍼 내부의 균열, 정렬 마크, 구조적 결함을 검출하는 반도체 검사
  • 광간섭 단층 촬영(OCT)과 같이 심부 조직 투과 및 표면하 구조 분석을 위한 의료 및 생체 이미징
  • 플라스틱, 복합재 및 불투명 포장재의 내부 건전성을 검사하는 산업용 비파괴 검사(NDT)

 

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