컬렉션: 193 - 300nm 대역 통과 필터

심자외선 대역 통과 필터(193-300nm) - UV-C 스펙트럼

당사의 특수 193-300nm 대역 통과 필터 컬렉션은 중요한 심자외선 및 UV-C 스펙트럼 범위를 대상으로 합니다. 이 정밀 광학 필터는 표준 유리 기판을 사용할 수 없는 까다로운 심자외선 영역에서 탁월한 성능을 요구하는 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.

주요 특징:

• Deep UV 최적화: 193-300nm 파장 범위에 특화됨
• UV 등급 기판: 융합 실리카 및 특수 UV 투명 소재
• 높은 UV 투과율: 깊은 UV에서 최대 처리량을 위한 최적화된 코팅
• 날카로운 스펙트럼 에지: 가파른 차단으로 정확한 파장 분리
• 뛰어난 차단력: 가시광선 및 근자외선 파장을 탁월하게 차단합니다.
• 낮은 자가형광: 최소한의 배경 간섭
• 방사선 저항성: 높은 UV 플럭스에서 안정적인 성능

중요한 응용 프로그램:

• 반도체 제조: 포토리소그래피 및 웨이퍼 검사
• 엑시머 레이저 시스템: ArF(193nm) 및 KrF(248nm) 레이저 응용 분야
• UV 분광법: 심자외선 흡수 및 방출 측정
• 살균 시스템: UV-C 살균 응용 분야(254nm)
• 환경 모니터링: 오존 감지 및 대기 분석
• 생물의학 연구: DNA/단백질 분석 및 형광 연구
• 표면 분석: 광전자 분광법(UPS/XPS)

호환 가능한 광원:

• 193nm ArF 엑시머 레이저 - 반도체 리소그래피
• 248nm KrF 엑시머 레이저 - 심자외선 처리
• 254nm 수은선 - 살균 응용 분야
• 266nm Nd:YAG(4차 고조파) - 레이저 분광법
• 중수소 램프 - 광범위 심자외선 연속체

기술 참고: 심자외선 필터는 파장 범위가 매우 까다롭기 때문에 특수한 취급 및 보관이 필요합니다. 모든 필터는 통제된 환경에서 제조되며 자외선 성능 및 내구성 테스트를 거칩니다.