Bandpassfilter für halbleiterlaserbasierte Inspektionssysteme

Bandpassfilter für halbleiterlaserbasierte Inspektionssysteme sind dafür ausgelegt, ausgewählte Laserwellenlängen zu übertragen und gleichzeitig unerwünschtes Licht außerhalb des Durchlassbands sowie Hintergrundrauschen zu reduzieren. Bei der Waferinspektion, Defekterkennung und optischen Messtechnik isolieren diese Filter das spezifische Lasersignal, das von der Halbleiteroberfläche gestreut oder reflektiert wird. Dies ermöglicht eine genaue Identifizierung von Defekten und Analyse der Oberfläche ohne Störungen durch Umgebungslicht oder Sekundäremissionen.

Anwendungen:

• Systeme zur Inspektion von Waferoberflächen, die gestreutes Laserlicht isolieren, um Partikel, Kratzer und Mikrodefekte zu erkennen

• Optische Messtechnik zur Messung kritischer Abmessungen (CD) und der Dicke von Dünnschichten durch Filterung reflektierter Lasersignale

• Unterdrückung von Hintergrundrauschen und Fluoreszenz in automatisierten optischen Inspektionssystemen (AOI), damit der Sensor auf die primäre Laserwellenlänge fokussiert bleibt