Bandpassfilter für die Waferinspektion
Die bei der Waferinspektion eingesetzten Bandpassfilter (BPFs) sind hochspezialisierte, sehr schmalbandige Filter mit einer Zentralwellenlänge (CWL), die präzise auf die leistungsstarken monochromatischen Lichtquellen (typischerweise Laser) der Inspektionsgeräte abgestimmt ist.
Die konkreten Parameter (Wellenlänge und FWHM) hängen vollständig vom Inspektionsverfahren, der untersuchten Waferschicht und der Größe der zu erfassenden Defekte ab.
