Bandpassfilter für die Inspektion unterhalb der Oberfläche
Bandpassfilter für die Prüfung unterhalb der Oberfläche sind so ausgelegt, dass sie ausgewählte Bänder im nahen Infrarot (NIR) und kurzwelligen Infrarot (SWIR) transmittieren und gleichzeitig unerwünschtes Licht außerhalb des Durchlassbereichs sowie Oberflächenreflexionen reduzieren. Da diese spezifischen Wellenlängen Materialien durchdringen können, die für sichtbares Licht undurchlässig sind, wie Silizium, bestimmte Kunststoffe und biologisches Gewebe, ermöglichen diese Filter optischen Sensoren die Erfassung innerer Strukturen, Schichten und verborgener Defekte.
Anwendungen:
- Halbleiterprüfung durch Isolierung von SWIR-Wellenlängen zur Erkennung innerer Risse, Justiermarken und struktureller Defekte in Siliziumwafern
- Medizinische und biologische Bildgebung, beispielsweise optische Kohärenztomografie (OCT), zur tiefen Gewebedurchdringung und Analyse von Strukturen unterhalb der Oberfläche
- Industrielle zerstörungsfreie Prüfung (NDT) zur Untersuchung der inneren Unversehrtheit von Kunststoffen, Verbundwerkstoffen und undurchsichtigen Verpackungsmaterialien