810nm 대역통과 필터

배경: 이 특허는 CO2 레이저와 810nm 다이오드 레이저를 비롯한 고출력 레이저로 반도체 웨이퍼를 가열(어닐링)하는 동안 웨이퍼의 온도를 측정하는 시스템을 설명합니다.

필터 용도: 대역 통과 필터는 가열 레이저의 특정 810nm 파장을 차단하기 위해 고온계의 광경로에 사용됩니다.

기능: 강한 810nm 가열광이 고온계 센서로 유입되는 것을 차단하는 동시에, 고온 웨이퍼에서 방출되는 열복사광(일반적으로 다른 파장, 예: >1400nm)은 통과시킵니다.

결과: 어닐링 공정 중 웨이퍼 온도를 정확하고 노이즈 없이 모니터링하여 가열 레이저가 센서를 “눈멀게” 하지 않으면서 실리콘을 정확한 사양에 맞게 가열할 수 있습니다.

배경: 이 특허는 수술 중 체내의 인도시아닌 그린(ICG)과 같은 형광 염료(형광단)를 시각화하는 데 사용되는 내시경 시스템을 설명합니다.

필터 용도: 810nm 대역 통과 필터는 일반적으로 여기 필터로 사용됩니다.

기능: 조명 광원(레이저 또는 LED)의 빛을 조절하여 810nm를 중심으로 하는 정밀한 협대역의 빛만 조직에 도달해 형광단을 여기하도록 합니다(특정 염료의 피크에 따라 780-805nm와 같이 이보다 약간 낮을 수 있음).

결과: 조영제의 형광 효율을 극대화하는 동시에 배경 “노이즈” 또는 누설 신호를 최소화하여, 그렇지 않으면 보이지 않을 담관과 같은 해부학적 구조의 고대비 이미지를 얻을 수 있습니다.

배경: 이 특허는 광섬유 팁과 보호 윈도 어셈블리를 포함하는 레이저 전달 시스템에 관한 것으로, 의료 또는 치과 응용 분야에 사용되는 것으로 보입니다.

필터 용도: 여기서 "필터"는 대개 투과형 윈도 또는 코팅이며, 810nm 치료 파장을 높은 효율로 투과하도록 설계되어 있습니다.

기능: 고출력 810nm 레이저 에너지를 치료 부위로 전달하는 동시에 열 부하를 관리하고 내부 광섬유를 이물질이나 역비산물로부터 보호합니다.

결과: 이를 통해 조직 절제 또는 치료에 레이저 에너지를 정밀하게 전달하는 동시에, 시술 중 광학 팁의 과열이나 고장을 방지합니다.